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【普乐斯】半导体等离子表面处理设备 VPC-400T
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【普乐斯】半导体等离子表面处理设备 VPC-400T

品牌:普乐斯
名称:半导体等离子表面处理设备
型号: VPC-400T
功率: 整机峰值功率30KW
用途:用于不同材料的表面处理、适合于半导体行业
订购热线: 400-816-9009
咨询热线:400-816-9009

产品特点

v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v蜂鸣器+红色指示灯报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v可按客户要求进行定制

咨询热线:400-816-9009

产品参数

型号 CPC-400T VPC-400T
控制系统 控制方式 全自动控制(自动/手动切换)
PLC
操作系统 Windows 10
触摸屏 15寸
整机规格 尺寸 W1000×D1650×H1650mm
腔体 尺寸 Φ280×D550mm
材质 316不锈钢(标配)/铝合金(可选)
料道 料道数量 4个
料道宽度 30-80mm(可任意调节)
料道长度 100-2600mm(可任意调节)
UPH 300-500片/小时(清洗10秒,可根据工艺要求设置)
真空计 皮拉尼式真空计 1个
流量计 MFC+浮子流量计 1路MFC,1路浮子流量计;Ar、N2、O2(可选)
真空泵 机械油式旋片泵 1套
发生器 中频/射频 40KHz,0~500W 13.56MHz,0~150W
额定功率 整机峰值功率 30KW
机台供电 单相三线式 AC-3800V
选购品 干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件
注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。
咨询热线:400-816-9009

工作原理


咨询热线:400-816-9009

应用领域

v用于不同材料的表面处理
v适合于半导体行业生产线
快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山 4小时,苏州 8小时,江浙沪 24小时,其他区域 48小时
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荣誉资质

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